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设备名称：光电子能谱仪

设备型号：Escalab 250Xi

生产国家：美国

生产厂家： Thermo Fisher

启用时间：2016年5月

设备价值：500万

技术参数：

真空系统性能：5×10-10mbar

单色器最佳空间分辨率：≤20microns

单色器最佳能量分辨率：≤0.45eV

单色器（大面积）能量分辨率：400000cps（FWHM≤0.50Ev）

应用说明：

      Escalab 250Xi型电子能谱仪是一台多功能高性能的表面分析仪器，它可以用于研究各种固体材料样品表面（1-10nm厚度）的元素种类、化学价态以及相对含量。结合离子刻蚀技术还可以获得元素及化学态深度分布信息；通过成像技术可以获得元素及化学态的面分布信息；利用微聚焦X射线源或电子束可以获得微区表面信息。在金属、玻璃、高分子、半导体、纳米材料、生物材料以及催化等领域有广泛应用。本仪器以X射线光电子能谱为主要功能，还带有俄歇电子能谱、紫外光电子能谱、反射电子能量损失谱及离子散射谱等附件功能。

  主要功能特点如下：

     常规XPS，鉴别样品表面的元素种类、化学价态以及相对含量。双阳极XPS，更适合用于不同的特殊过渡金属元素的研究，如催化领域；微区XPS分析（单色化XPS），用于样品微区（＞20μm）表面成分分析，高能量分辨的化学态分析；深度剖析XPS，结合离子刻蚀技术对样品（如薄膜等）进行成分深度分布分析。通过角分辨XPS还可以进行非损伤成分深度分布分析；XPS成像，可以对元素或化学态进行表面面分布分析，使一些分析结果更直观；反射电子能量损失谱REELS技术，可实现氢元素的检测；离子能量损失谱ISS，可实现样品表面元素信息的检测；场发射俄歇AES，可实现样品表面100nm尺寸下的元素信息检测。可以进行成分分析、形貌像分析及扫描俄歇像分析等；紫外光电子能谱（UPS），可以获得样品价带谱信息，对导体、半导体的能带、带隙等分析提供主要数据。还可以分析样品逸出功等。